鏡片，輸出耦合器和鏡頭
圖1：157nm的激光鏡（AOI = 0°，a）和轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°，b）的測(cè)量反射率和透射光譜
Ø•激光鏡：AO = 0°時(shí)R = 92 ... 95％
Ø•轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）：
Øo盧比> 97％
Øo Rp> 90％
Øo Rr> 92％
Ø•高品質(zhì)的鏡面基板，窗戶和CaF2透鏡（157nm準(zhǔn)分子級(jí)質(zhì)量，SCHOTT AG）
Ø•具有公差的PR涂層
Ø對(duì)于R = 10 ... 30％，±2％
Ø對(duì)于R = 30 ... 75％，o±3％
Øo±2％，R = 75 ... 90％
Ø•根據(jù)要求開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)客戶特定部件作為分束器和可變衰減器
圖2：R = 50±3％，R = 25±2％（背面未涂布）的標(biāo)準(zhǔn)輸出耦合器的測(cè)量反射光譜
Variable Attenuators
可變衰減器
圖3：不同AOI（a）和透射率與AOI（b）的可變衰減器的測(cè)量透射光譜;
在AOI = 0°時(shí)，透射率從T> 75％變化到AOI = 45°時(shí)的T <5％
F2激光鋁鏡
圖4：受保護(hù)的Al鏡（a）的反射光譜和157nm的增強(qiáng)型Al鏡（b）
受保護(hù)的鋁鏡（針對(duì)157nm進(jìn)行了優(yōu)化）：R = 74 ... 78％
電介質(zhì)增強(qiáng)型鋁鏡：AOI = 0°時(shí)R = 94％
有關(guān)Al鏡的更多信息，請(qǐng)參閱我們的目錄中的第96 - 97頁(yè)。
標(biāo)準(zhǔn)F2激光元件的技術(shù)參數(shù)
Coating | Spectral performance | Lifetime test |
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HR (0°, 157nm) | R = 92 ... 95 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
HR (45°, 157nm) | R = 90 ... 94 % (random pol.) |
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PR (0°, 157nm) | R = 50 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
PR (0°, 157nm) | R = 25 ± 3 % | 2 x 108 – 1 x 109 pulses* |
Attenuator | T = 67 ± 3 % | 5 x 107 pulses**, no damage |
Attenuator | T = 33 ± 3 % | 1 x 108 pulses***, no damage |
Beam splitter | T = 20 ± 3 % | 1 x 108 pulses***, no damage |
AR (0°, 157nm) | 0.3 ... 0.7 % |
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*能量密度：25mJ / cm2，重復(fù)頻率：800Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
**能量密度：15mJ / cm 2， 速率：200Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進(jìn)行測(cè)試
***能量密度：20 mJ / cm2， 速率：50Hz，脈沖持續(xù)時(shí)間：20ns; 在光電技術(shù)研究所（IPHT）耶拿研究所進(jìn)行測(cè)試
反射鏡，輸出耦合器和鏡頭
圖1：隨機(jī)的193nm的轉(zhuǎn)向鏡（AOI = 45°）的測(cè)量反射率和透射光譜
偏振光（a）和兩面用氟化AR涂層涂覆193nm的CaF 2窗（b）
•所有氟化物系統(tǒng)都能保證高反射率和高損傷閾值
•PR涂層，公差為：
對(duì)于R = 10 ... 30％，±2％
對(duì)于R = 30 ... 75％，±±3％
對(duì)于R = 75 ... 90％，±±2％
o±1％，R> 90％
•高品質(zhì)的鏡面基板，窗口和CaF2（193nm準(zhǔn)分子級(jí)，肖特公司）鏡頭和熔融石英
•根據(jù)要求開(kāi)發(fā)和生產(chǎn)客戶特定的組件，如分束器和可變衰減器
•在AOI = 0°時(shí)殘余反射率R <0.25％，AOI = 45°時(shí)R <0.6％的單波長(zhǎng)AR涂層（非偏振光）
•寬帶和多波長(zhǎng)AR涂層
可變衰減器
圖2：不同AOI（a）和透射率與AOI（b）的可變衰減器的測(cè)量透射光譜;
在AOI = 0°時(shí)，透射率從T> 88％變化到AOI = 45°時(shí)的T <2％
•根據(jù)要求具有不同傳輸范圍的衰減器
•衰減器可以交付熔融石英的CaF2的AR涂層補(bǔ)償板
鋁反射鏡
圖3：針對(duì)193nm（a）優(yōu)化的受保護(hù)的Al鏡的測(cè)量反射光譜
和193nm的增強(qiáng)型Al鏡，AOI = 45°（b）
增強(qiáng)鋁鏡： | Rp > 93% |
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For more information on Al mirrors see pages 96 – 97 in our catalog. | |
標(biāo)準(zhǔn)ArF激光元件的技術(shù)參數(shù)
Coating | Substrate | Damage threshold* | Lifetime test |
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Fluoride coatings |
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AR (0°, 193nm) R < 0.25% | CaF2 | 4 – 5 J/cm2 | 2.5 x 108 pulses, no damage** |
AR (0°, 193nm) R < 0.25% | fused silica | 2 – 3 J/cm2 |
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PR (0°, 193nm) R = 25% | CaF2 | 3 – 4 J/cm2 | 2.5 x 108 pulses, no damage** |
PR (0°, 193nm) R = 50% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 pulses*** |
HR (0°, 193nm) R > 96% | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 | 109 pulses***, no damage |
HR (45°, 193nm) R > 95% (random polarized) | CaF2 | 2 – 3 J/cm2 |
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Oxide coatings |
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HR (0°, 193nm) R>92% | fused silica | <1 J/cm2 |
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1）1000 - on -1,14 ns; 在Laser LaborGöttingen和Friedrich-Schiller - Jena大學(xué)進(jìn)行了測(cè)量
2）能量密度：18mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
3）能量密度：55mJ / cm 2，重復(fù)率：1kHZ，脈沖持續(xù)時(shí)間15ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
4）能量密度：27mJ / cm 2，重復(fù)頻率：4kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：30ns; 在哥德根的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
5）能量密度：80mJ / cm 2，重復(fù)頻率：1kHz，脈沖持續(xù)時(shí)間：12ns; 在慕尼黑的COHERENT AG進(jìn)行測(cè)試
Mirrors and Partial Reflectors
•HR空腔和轉(zhuǎn)向鏡，AOI = 0°時(shí)R> 99.9％，對(duì)于s-和p-偏振光，AOI = 45°
•典型反射率：R> 99.95％
•對(duì)于特殊要求，我們保證R> 99.99％（帶腔環(huán)測(cè)量的交貨）
•光譜帶寬約70 nm，1 - 1 LIDT> 50 MW / cm2（cw）和> 50J / cm2（10 ns）
圖1：具有不同程度的反射率的高功率腔鏡（a）和輸出耦合器的反射光譜（b）
光束分離器和輸出耦合器具有調(diào)節(jié)的反射率
Reflectance | Tolerance |
R > 95% | ± 0.5% |
R = 80 ... 95% | ± 1% |
R = 10 ... 80% | ± 2% |
•泵鏡HR（0°，1064 nm）> 99.9％+ R（0°，808 nm）<2％
•分束器，光束組合器和掃描鏡
•Nd：YAG / Nd：YVO4激光器的諧波光學(xué)在這里和這里（也在我們的目錄中的第40-45頁(yè)）
圖2：s - ，p - 和隨機(jī)極化的導(dǎo)向反射鏡HR（1064 nm）+ PR（630 - 670 nm）的反射光譜
在AOI = 45°（a）和不同AOI處的隨機(jī)極化（用作掃描鏡）（b）
薄膜偏光鏡
•光的s和p偏振分量的分離（s偏振光被反射并且p偏振光被透射）
•可以為AOI> 40°生產(chǎn)TFP，但是如果使用AOI≈55°（布魯斯特角），則極化有效，出現(xiàn)在寬波長(zhǎng)范圍
•典型偏振比：AOI = 45°或55°時(shí)，Tp / Ts> 500
•具有Tp / Ts10000的極化比的特殊設(shè)計(jì)是可能的
•高激光損傷閾值（對(duì)腔內(nèi)應(yīng)用有用）
•通過(guò)改進(jìn)的空腔環(huán)形設(shè)置可以高精度地測(cè)量用于p偏振光的薄膜偏振器的透射
圖3：對(duì)于s和p偏振光，AOI = 55°（布魯斯特角）的標(biāo)準(zhǔn)TFP的反射光譜
非極化光束分離器
•對(duì)于AOI = 45°的Rs?Rp（| Rs-Rp | <1.5％）和不同程度的反射率的分束器
•常見(jiàn)的類(lèi)型：
o Rs，p = 66±1％
o Rs，p = 50±2％
o Rs，p = 33±3％
•所有非極化分束器，后側(cè)AR（Rs?Rp≤0.6％）
圖4：3種非極化光束分離器的反射光譜（AOI = 45°）
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